Honeywell AWM43300V

Dieser Durchflusssensoren arbeitet nach dem Prinzip des Heißfilm-Aneometers und nutzt die Kühlwirkung des über die Oberfläche des Fühlerelemntes streichenden Luftstromes. Dabei ändert sich die Ausgangsspannung im gleichen Maße wie der Luft oder Gasstrom durch die Ein- und Auslaßöffnungen des Sensorgehäuses. Aufgebaut mit einer Dünnfilm-, thermoisolierten Brückenstruktur mit Heiz- und zwei Temperatursensorelementen. Die Brückenstruktur ermöglicht hohe Messempfindlichkeit sowie schnelle Ansprechzeit auf Luft /Gasströmung über dem Chip. Die beiden Temperaturfühler mit dem mittig dazwischen liegenden Heizelement ermöglichen die Erkennung der Strömungsrichtung und die Messung des Durchsatzes. . Präzise Silizium-Mikrobearbeitung . Empfindlich bei geringen Luftströmen - 0,1 sccm bis 20 SLPM . Anpassbar zur Verwendung mit größeren Luftströmen . Kurze Ansprechzeit . Analogausgang . Niedriger Stromverbrauch . Wiederholbare Ansprache . Lasergetrimmte Austauschbarkeit . Genaue, kosteneffiziente Luftstromerkennung . Inline-Leiterplatten-Anschlüsse . Standardmäßige Befestigungsmittelpunkte 2,54 mm (0,100 Zoll) . Genaue Messung des Niederdrucks 0,001 Zoll bis 4,0 Zoll H2O (0,003 bis 10 mbar) Technische Daten: Sensor mit Verstärkung Betriebsspannung 10-15VDC Ausgangsspannung 5VDC bei 1000sccm Bereich +1000 sccm Ansprechzeit 3 ms Betriebstemperatur -25°C bis +85°C ( sccm = standard cubic centimeters pro minute Pin1 = Uausgang Pin2= Ubetrieb Pin3 = Masse Nur für Medium: trockene Gase